特許
J-GLOBAL ID：200903020656499822
エッチング方法及びその装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 次郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-268053
公開番号（公開出願番号）：特開平8-111577
出願日： 1994年10月07日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：
【要約】【目的】 TABのリードをエッチングにより形成する際に、リードの幅のバラツキを小さくする。【構成】 エッチング部2と第1水洗部3との間に設けられた画像処理部21はカメラ22を備えている。そして、カメラ22で画像認識して得られたパターニングデータを予め設定されたリード幅基準データと比較し、その比較結果に基づいてエッチング条件(エッチング液の吹き付け圧、吹き付け量、樹脂フィルム11の搬送速度)補正信号23をエッチング部2及び樹脂フィルム搬送部8に送出する。
請求項（抜粋）：
樹脂フィルム及びこれに積層された金属箔をロールツウロールで搬送しながら前記金属箔をエッチングしてパターニングするエッチング方法において、前記金属箔のパターニングの状態をカメラで画像認識し、この認識結果に基づいて前記エッチングの条件を補正することを特徴とするエッチング方法。
IPC (2件)：
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