特許
J-GLOBAL ID：200903020657716223

光学要素移動装置

発明者：
水野 誠

水野 誠 について


出願人/特許権者：
キヤノン株式会社

キヤノン株式会社 について


代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-213875
公開番号（公開出願番号）：特開平11-044834
出願日： 1997年07月25日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 投影光学系の倍率、収差、歪み等の光学特性を調整するための光学要素を高精度で光軸上を駆動する光学要素移動装置を、省スペース、高クリーン度で実現する。【解決手段】 可動部に取り付けられた光学要素を固定部に対して光軸方向へ移動させる駆動手段および案内手段を有する光学要素移動装置において、可動部と固定部との間にダンパ手段を設ける。
請求項（抜粋）：
固定部と、光学要素を固定された可動部と、前記固定部に対して前記可動部を光軸方向へ移動させる駆動手段および案内手段と、前記固定部と可動部との間に配置されたダンパ手段とを有する光学要素移動装置。
IPC (4件)：
G02B 7/02 ,  G02B 7/00 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (5件)：
G02B 7/02 A ,  G02B 7/00 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 A
引用特許：
出願人引用 (10件)
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審査官引用 (10件)
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