特許
J-GLOBAL ID：200903020664788310
ICの静止時電源電流試験装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-087412
公開番号（公開出願番号）：特開平7-280880
出願日： 1994年04月04日
公開日（公表日）： 1995年10月27日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、試験パターンの発生を通常の速度で発生させながら、被試験ICの静止時の電源電流異常を検出することを目的としている。【構成】 被試験ICに与える動作信号、電源電流測定回路のマスク信号及びサンプルクロック発生器をスタートさせるサンプルクロックスタート信号を発生するタイミングジェネレータを設け、タイミングジェネレータと同期したクロックを発生するクロック発生器を設け、サンプルクロックの数を設定するバーストカウンタを設け、サンプルクロックスタートからバーストカウンタでストップするまでサンプルクロックを発生するサンプルクロック発生器を設ける。電流検出出力から得られるアナログの電流値をサンプルクロック毎に波形デジタイザでデジタルに変換し、デジタルに変換したサンプルクロック毎の電流値をメモリに記憶し、メモリに記憶した電源電流の下降曲線から、デジタル信号処理装置で、静止時の電流値を計算で求める。
請求項（抜粋）：
被試験IC(10)に与える動作信号、電源電流測定回路のマスク信号の発生及びサンプルクロック発生器(41)をスタートさせるサンプルクロックスタート信号を発生するタイミングジェネレータ(46)と、タイミングジェネレータ(46)と同期したクロックを発生するクロック発生器(40)と、サンプルクロックスタート信号でカウントを開始するサンプルクロックの数を設定するバーストカウンタ(42)と、サンプルクロックスタートからバーストカウンタでストップするまでサンプルクロックを発生するサンプルクロック発生器(41)と、電流検出出力から得られるアナログの電流値をサンプルクロック毎にデジタルに変換する波形デジタイザ(43)と、デジタルに変換されたサンプルクロック毎の電流値を記憶するメモリ(44)と、電源電流の下降曲線から静止時の電流値を計算で求めるデジタル信号処理装置(45)と、以上を具備することを特徴とするICの静止時電源電流試験装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/66
