特許

J-GLOBAL ID：200903020666374076

気相成長装置用発熱体

発明者： 外谷 栄一 ,  市島 雅彦 ,  大橋 忠 ,  島田 真幸 ,  三谷 慎一 ,  本多 恭章
出願人/特許権者： 東芝セラミックス株式会社 ,  東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 田辺 徹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-171611
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007957
出願日： 1995年06月15日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 侵食を少なくしてパーティクルの発生を防止することのできる気相成長装置用の発熱体を提供する。【構成】 ウエハをウエハ保持部材で支持し、該ウエハ保持部材の下方に配置する発熱体によりウエハを加熱して、ウエハ表面に気相成長膜を形成する気相成長装置に用いる発熱体において、発熱体が、炭素基材と、その表面に設けた炭化珪素質膜からなり、表面に現れた炭化珪素質膜の少なくとも80%が20〜100μmの粒子径を有する結晶体からなることを特徴とする気相成長装置用発熱体。

請求項（抜粋）：

ウエハをウエハ保持部材で支持し、ウエハを加熱して、ウエハ表面に気相成長膜を形成する気相成長装置に用いる発熱体において、ウエハを加熱するための発熱体が、炭素基材と、その炭素基材の表面に設けた炭化珪素質膜からなり、炭化珪素質膜の表面の少なくとも80%が20〜100μmの粒子径を有する結晶体からなることを特徴とする気相成長装置用発熱体。

IPC (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/50 ,  H01L 21/68 ,  H05B 3/00 330

FI (4件)：

H01L 21/205 ,  C23C 14/50 E ,  H01L 21/68 N ,  H05B 3/00 330 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭56-010921
  
• 特開平1-290521