特許

J-GLOBAL ID：200903020673411432

リンク装置

発明者： 川田 静二郎
出願人/特許権者： 川田 静二郎
代理人 (1件)： 逢坂 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-231877
公開番号（公開出願番号）：特開2000-065177
出願日： 1998年08月18日
公開日（公表日）： 2000年03月03日
要約：

【要約】【課題】 たわみ荷重及びねじれ荷重の伝わる経路を改善して、たわみ及びねじれによる搬送物の位置ずれを防ぎ、かつ軽量なリンク装置を提供すること。【解決手段】 第1の平行リンク14Aの主アーム1の他端側1bと、第2の平行リンク14Bの主アーム3の一端側3aとを、浮動軸受6を介して結合軸9で同軸連結する。これによりたわみ荷重及びねじれ荷重が主アーム3から主アーム1へ直接伝わり、ウエハ13の位置ずれを防ぐと共にリンク装置を軽量化することができる。

請求項（抜粋）：

第1の平行リンクをなす第1のリンクと第2のリンクの一端側がそれぞれ、第1の主軸及び第1の従動軸に回動自在に軸着され、前記第1及び第2のリンクの他端側が浮動軸受を介してそれぞれ、第2の平行リンクをなす第3のリンク及び第4のリンクの一端側と第2の主軸及び第2の従動軸に軸着して連結され、前記第1及び第2の平行リンク間の角度を可変することによって、前記第1のリンクの前記第1の主軸と前記第3のリンクの他端側との相対的距離が調整されるようにしたリンク装置。

IPC (4件)：

F16H 21/10 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

F16H 21/10 Z ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 D ,  H01L 21/68 A

Fターム (12件)：

3F060AA01 ,  3F060AA07 ,  3F060EA01 ,  3F060EB12 ,  3F060EC12 ,  3F060GB12 ,  3F060HA00 ,  5F031CC12 ,  5F031CC13 ,  5F031EE01 ,  5F031EE04 ,  5F031GG15