エッチング液の能力回復維持方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：津田直久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-093473
公開番号（公開出願番号）：特開平7-300686
出願日： 1994年05月02日
公開日（公表日）： 1995年11月14日
要約：

【要約】【目的】塩化第一鉄や塩化第一銅の濃度が希薄でも反応速度を落とさず、かつ、塩素ガスの発生を抑制しながらエッチング液の能力回復維持を安定よく長期にわたり可能とした。【構成】電解槽の陽極1を電解液が透過する多孔質構造体により形成し、陽極室4と陰極室5とを陰イオン交換膜9で仕切り、陰極電解液のpHを測定して、pH10で塩酸を加え、pH0〜10で運転させ、pH7〜10の範囲内において、前記電解液中に移行する金属イオンが生成する固形の金属水酸化物を濾過分離して除去するようにした。

請求項（抜粋）：

1価の銅イオンを2価の銅イオンに、または、2価の鉄イオンを3価の鉄イオンに電解酸化することにより、エッチング液のエッチング能力を回復維持する方法において、陽極をもつ陽極室と、陰極をもつ陰極室と、これら陽極室と陰極室とを仕切る陰イオン交換膜とをもった電解槽を用い、前記陽極に塩素の発生を抑制するために多孔質構造体から成る電解液透過性電極を用い、前記陽極室にエッチング液を供給すると共に前記陰極室に塩化物を溶解した陰極電解液を供給する一方、前記陰極室における電解液のpHを測定し、そのpHが10になったとき前記電解液にpHが7以下になるまで塩酸を加えてpH0〜10の範囲内で運転し、かつ、前記電解液のpHが7〜10の範囲内において、前記電解液中に移行する金属イオンが生成する固形の金属水酸化物を濾過分離して除去していることを特徴とするエッチング液の能力回復維持方法。

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