特許

J-GLOBAL ID：200903020687160319

パターン検査装置

発明者： 米澤 栄二
出願人/特許権者： 株式会社ニデック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-215920
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046532
出願日： 1998年07月30日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：

【要約】【課題】 微細なパターン等の段差構造をマクロ的に検査して、その平均的な情報を容易に得る。【解決手段】 被検物上の検査対象領域のパターンをほぼ垂直な方向から照明する照明光学系と、該照明光学系により照明されたパタンによる正反射光または透過光を検出する検出光学系であって、検査対象領域のパターンの構造が光学的に解像できない開口数を有する検出光学系と、該検出光学系により検出される光の波長を選択的に可変にする波長可変手段と、該波長可変手段により変化する波長に応じた検出光の光強度情報に基づいてパターンの構造を測定する測定手段と、を備える。

請求項（抜粋）：

被検物に形成されたパターンを検査するパターン検査装置において、被検物上の検査対象領域のパターンをほぼ垂直な方向から照明する照明光学系と、該照明光学系により照明されたパタンによる正反射光または透過光を検出する検出光学系であって、検査対象領域のパターンの構造が光学的に解像できない開口数を有する検出光学系と、該検出光学系により検出される光の波長を選択的に可変にする波長可変手段と、該波長可変手段により変化する波長に応じた検出光の光強度情報に基づいてパターンの構造を測定する測定手段と、を備えることを特徴とするパターン検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00 ,  H01L 21/66

FI (4件)：

G01B 11/24 F ,  G01N 21/88 E ,  H01L 21/66 J ,  G06F 15/62 405 A

Fターム (63件)：

2F065AA25 ,  2F065AA58 ,  2F065AA61 ,  2F065AA65 ,  2F065BB02 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF01 ,  2F065FF41 ,  2F065FF51 ,  2F065GG02 ,  2F065GG25 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL23 ,  2F065LL30 ,  2F065LL42 ,  2F065LL49 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR08 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA08 ,  2G051BB01 ,  2G051BB15 ,  2G051CA04 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA07 ,  2G051EA14 ,  2G051EB01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED04 ,  2G051ED11 ,  4M106AA01 ,  4M106BA04 ,  4M106CA39 ,  4M106DB04 ,  4M106DB07 ,  4M106DB12 ,  4M106DB13 ,  4M106DB19 ,  4M106DJ11 ,  4M106DJ18 ,  5B057AA03 ,  5B057BA15 ,  5B057DA03 ,  5B057DC22 ,  5B057DC36