特許
J-GLOBAL ID：200903020691935155
感熱式流量センサ及びその駆動回路
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
柏木 明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-171538
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019622
出願日： 1996年07月02日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】【課題】 流速検出に貢献せず電圧降下のみを生ずる抵抗成分の影響を受けることなく、流速検出に貢献する橋上の発熱体部分の両端電圧を正確に検出できるようにする。【解決手段】 4端子測定法を利用し、発熱体Rh の橋4上での両端部分より、各々引出パターン5,22を介して、発熱体Rh 加熱のための一対の電流端子7a,7bと、発熱体Rh 間の電圧を検出するための一対の電圧端子23a,23bとを形成して両端子を区別することで、基板2上で橋4上に存在する発熱体Rh 本体部分以外の流量の変化に伴う電流の変化による電圧降下の影響をなくし、橋上の発熱体のみの電圧降下のみを取り出すことができるようにした。
請求項（抜粋）：
流路中に配設される基板と、この基板の一部に形成された堀と、この堀を跨いで形成された橋と、この橋上にパターン形成された発熱体と、前記基板上で前記発熱体の温度に影響されない部位にパターン形成された流体温度測温体とを備えた感熱式流量センサにおいて、前記発熱体の前記橋上での両端部分より、各々引出パターンを介して、発熱体加熱のための一対の電流端子と、発熱体間の電圧を検出するための一対の電圧端子とを形成したことを特徴とする感熱式流量センサ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G01F 1/68
, G01P 5/12 C
, G01P 5/12 M
