特許

J-GLOBAL ID：200903020697680582

レジスト現像装置

発明者： 平野 晴信 ,  草野 恭 ,  池田 利喜夫 ,  井上 律子
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 正知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-083374
公開番号（公開出願番号）：特開平9-244260
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：

【要約】【課題】 微細なレジストパターンを精度よく形成することができ、かつ、現像欠陥を有効に抑えることができるレジスト現像装置を提供する。【解決手段】 露光済みレジストが形成されたウェハー31上に現像ノズル36から現像液を吐出することによりレジストを現像するレジスト現像装置において、現像液供給用配管の少なくとも先端部の直前に脱気ユニット4を設け、吐出直前の現像液を脱気する。現像液供給用配管の先端部と脱気ユニット4との間に現像液中の溶存気体量を検出するための溶存気体量検出手段を設けてもよい。また、脱気ユニット4を設ける代わりに、現像液供給用配管の少なくとも先端部の直前の部分を、複数の脱気可能な毛細管を内部に含む真空排気可能な管により構成してもよい。

請求項（抜粋）：

レジストが形成された基板上に現像液供給用配管の先端から現像液を吐出することにより上記レジストの現像を行うようにしたレジスト現像装置において、上記現像液供給用配管の少なくとも先端部の直前に上記現像液を脱気するための脱気手段が設けられていることを特徴とするレジスト現像装置。

IPC (2件)：

G03F 7/30 502 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G03F 7/30 502 ,  H01L 21/30 569 C