特許
J-GLOBAL ID：200903020714761877
バンプ電極検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-238273
公開番号（公開出願番号）：特開平6-088709
出願日： 1992年09月07日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：
【要約】【目的】 パッド間の接続を行うバンプ電極の高さを検査するバンプ電極検査装置に関し、短時間かつ正確に自動検査を行うことを目的とする。【構成】 試料24におけるバンプ電極に直線偏光されたレーザ光を照射し、反射光を、入射光と同一の偏光状態の反射光を通過させる偏光フィルタ28を介してPSDセンサ29に受光させる。
請求項（抜粋）：
基板(24a)上に形成されたバンプ電極(24b)に、直線偏光された光を照射する光源(26)と、該バンプ電極(24b)からの反射光を検出する検出部(29)と、該反射光の該検出部(29)までの経路中に介在され、入射光と同一の偏光状態の光を通過させる偏光手段(28)と、該検出部(29)からの信号により該バンプ電極(24b)の高さを算出する処理手段(30〜34)と、を含むことを特徴とするバンプ電極検査装置。
引用特許：
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