シランガスのオンサイト発生方法および装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-115444
公開番号（公開出願番号）：特開平11-310410
出願日： 1998年04月24日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】シランガスの製造時、輪送時、貯蔵時における火災・爆発の危険を防止することができるシランガスのオンサイト発生方法を提供する。【解決手段】非自発発火性の原料を需要地においてシランに変換し、これを蓄積することなく需要工程に供給する。すなわち、非自発発火性で熱力学的に安定な常温で液体または気体の化合物を原料として用い、これを需要地において使用の直前に反応させてシランに変換し、これを蓄積することなく、所要の濃度に調整して需要工程に供給するとともに、濃度調整により発生する余剰のシランを蓄積することなく不活性化する

請求項（抜粋）：

非自発発火性の原料を需要地においてシランに変換し、これを蓄積することなく需要工程に供給することを特徴とするシランガスのオンサイト発生方法。

IPC (3件)：

C01B 33/04 , F17C 7/00 , H01L 51/00

FI (3件)：

C01B 33/04 , F17C 7/00 A , H01L 29/28

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