特許

J-GLOBAL ID：200903020735351644

単分散性共重合体及びその製造方法

発明者： 渡辺 修 ,  山田 素行 ,  八木橋 不二夫
出願人/特許権者： 信越化学工業株式会社
代理人 (1件)： 滝田 清暉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-212162
公開番号（公開出願番号）：特開平6-032839
出願日： 1992年07月16日
公開日（公表日）： 1994年02月08日
要約：

【要約】【目的】 レジスト材料用ポリマーとしての要求性能を充たす、単分散性の新規な共重合体を提供すること。【構成】下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体。【化1】【化2】

請求項（抜粋）：

下記化1で表される単位及び下記化2で表される単位からなる単分散性共重合体。【化1】【化2】

IPC (3件)：

C08F212/14 MJY ,  C08F 8/12 MGF ,  C08F297/02 MRD