特許

J-GLOBAL ID：200903020737720183

空間フィルタのアライメント方法、空間フィルタのアライメントセンサ、空間フィルタのアライメント装置、干渉計測装置、及び投影レンズ

発明者： 柴田 悟
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-038736
公開番号（公開出願番号）：特開2002-243422
出願日： 2001年02月15日
公開日（公表日）： 2002年08月28日
要約：

【要約】【課題】 干渉計内に配置された空間フィルタを、高精度かつ確実にアライメントする。【解決手段】 被検面を干渉計の光軸に直交する所定軸の周りの第1の方向に傾斜させつつ、そのときの撮像素子への入射光量の変化パターンを検出し、被検面を所定軸の周りの第2の方向に傾斜させつつ、そのときの撮像素子への入射光量の変化パターンを検出し、検出した2つの変化パターンの相違を、所定軸を基準とした透過部の位置ずれを示す情報として求め、前記情報に応じて空間フィルタと干渉計の光軸との相対位置を調整する。

請求項（抜粋）：

干渉計測の基準となる参照光に所定の設計形状の被検面から垂直に射出した被検光を干渉させて干渉縞を生起させる干渉光学系と、前記被検面と共役な関係を保つように配置される撮像素子と、その干渉計測に供される何れかの光束に挿入された透過部を有する空間フィルタとを備えた干渉計に適用される空間フィルタのアライメント方法であって、前記被検面を、前記干渉計の光軸に直交する所定軸の周りの第1の方向に傾斜角度を変化させながら、前記撮像素子への入射光量の変化パターンを検出し、前記被検面を、前記所定軸の周りの第2の方向に傾斜角度を変化させながら、前記撮像素子への入射光量の変化パターンを検出し、前記検出した2つの変化パターンの相違を、前記所定軸を基準とした前記空間フィルタの透過部の位置ずれを示す情報として求め、前記情報に応じて、前記空間フィルタと前記干渉計の光軸との相対位置を調整することを特徴とする空間フィルタのアライメント方法。

IPC (3件)：

G01B 11/26 ,  G01B 9/02 ,  G02B 7/00

FI (4件)：

G01B 11/26 G ,  G01B 9/02 ,  G02B 7/00 G ,  G02B 7/00 D

Fターム (39件)：

2F064AA01 ,  2F064BB00 ,  2F064CC04 ,  2F064EE05 ,  2F064FF00 ,  2F064GG22 ,  2F064GG32 ,  2F064GG38 ,  2F064GG47 ,  2F064HH03 ,  2F064HH05 ,  2F064JJ01 ,  2F064KK01 ,  2F065AA17 ,  2F065AA33 ,  2F065DD03 ,  2F065FF51 ,  2F065FF65 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL28 ,  2F065LL32 ,  2F065LL36 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ28 ,  2F065SS14 ,  2H043AB02 ,  2H043AB03 ,  2H043AB04 ,  2H043AB08 ,  2H043AD04 ,  2H043AD11 ,  2H043AD17 ,  2H043AD19