特許

J-GLOBAL ID：200903020738048667

無機微粒子含有感光性樹脂組成物の現像処理方法

発明者： 高木 良博
出願人/特許権者： 富士フイルムオーリン株式会社
代理人 (1件)： 萩野 平 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-243599
公開番号（公開出願番号）：特開2000-075502
出願日： 1998年08月28日
公開日（公表日）： 2000年03月14日
要約：

【要約】【課題】 無機微粒子含有感光性樹脂組成物を高圧スプレー現像する際に生じる使用済みの現像液にかかわる廃液処分コストを低減し、水質環境の安全が確保され、かつ水質環境法規の制約も解決された現像処理方法を提供する。【解決手段】 無機微粒子含有感光性樹脂組成物を高圧スプレー現像して生じた使用済みの現像液から固形分を分離したのち、該使用済みの現像液を新たな無機微粒子含有感光性樹脂組成物の高圧スプレー現像に再使用することを特徴とする無機微粒子含有感光性樹脂組成物の現像処理方法。

請求項（抜粋）：

無機微粒子含有感光性樹脂組成物を高圧スプレー現像して生じた使用済みの現像液から固形分を分離したのち、該使用済みの現像液を新たな無機微粒子含有感光性樹脂組成物の高圧スプレー現像に再使用することを特徴とする無機微粒子含有感光性樹脂組成物の現像処理方法。

IPC (2件)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/004 501

FI (2件)：

G03F 7/32 ,  G03F 7/004 501

Fターム (23件)：

2H025AA16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC03 ,  2H025AD05 ,  2H025BC31 ,  2H025BJ01 ,  2H025CA14 ,  2H025CA28 ,  2H025CA30 ,  2H025CA34 ,  2H025CB04 ,  2H025CB07 ,  2H025CB13 ,  2H025CB14 ,  2H025CB16 ,  2H025EA04 ,  2H025FA09 ,  2H025FA10 ,  2H025FA15 ,  2H096AA27 ,  2H096BA06 ,  2H096BA09 ,  2H096CA12