特許

J-GLOBAL ID：200903020742570742

画面検査方法と装置

発明者： 湯川 典昭 ,  小林 弘太郎
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-334842
公開番号（公開出願番号）：特開2000-162089
出願日： 1998年11月26日
公開日（公表日）： 2000年06月16日
要約：

【要約】【課題】 複雑なシステムを構成することなく、表示画面に存在する様々な輝度の欠陥を高速・高精度に行うことを可能とする画面検査方法を提供する。【解決手段】 露光時間が異なる複数の濃淡画像をステップ#2で単一の濃淡画像に合成して、ステップ#3で欠陥検出を実行するので、複雑なシステムを構成することなく、表示画面に存在する様々な輝度の欠陥を高速・高精度に行える。

請求項（抜粋）：

表示素子の製造工程において、被検査体の画面を撮像して得られる濃淡画像の表示画素濃度データに基づいて輝度の欠陥を検出するに際し、露光時間を変更して被検査体を撮像して複数の濃淡画像を得、露光時間が異なる複数の濃淡画像を合成して単一の合成濃淡画像を得、この合成濃淡画像の濃淡から欠陥を検出する画面検査方法。

IPC (3件)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/88 ,  G06T 7/00

FI (3件)：

G01M 11/00 T ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/62 405 A

Fターム (15件)：

2G051AA90 ,  2G051AB02 ,  2G051CA04 ,  2G051CB07 ,  2G051CC20 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G086EE03 ,  2G086EE10 ,  5B057AA01 ,  5B057CE11 ,  5B057DA03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC22