特許
J-GLOBAL ID：200903020745262313
狭帯域発振エキシマレーザ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
木村 高久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-264513
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112570
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 狭帯域化された出力レーザ光を高効率で得られるようにした狭帯域発振エキシマレーザを提供する。【解決手段】 レーザーチャンバ20とグレーティング30との間で、且つレーザービーム(以下ビームという)光軸上にイメージローテータ60を設けるとともに、イメージローテータをビーム光軸を中心として回転可能に支持し、イメージローテータによりビームを光軸周りに回転させて、ビームエキスパンダ41、42へ入射するビームの幅が狭い方向を含む平面とビームエキスパンダのビーム拡大方向を含む平面とを平行にし、且つグレーティングへ入射するビームが拡大された方向とグレーティングの複数の溝の方向とが直交するように調整する。
請求項（抜粋）：
レーザガスが封入されたレーザチャンバと、前記レーザチャンバの一方側に配置されたレーザ光出力結合ミラーと、前記レーザチャンバの他方側に配置された波長選択素子として動作するグレーティングと、前記レーザチャンバと前記グレーティングとの間に配設されたビームエキスパンダとを有し、前記レーザチャンバ内で放電励起により発生されたレーザビームを前記ビームエキスパンダを介して前記グレーティングに照射することにより前記レーザ光出力結合ミラーから狭帯域化されたレーザビームを出力する狭帯域発振エキシマレーザにおいて、前記レーザチャンバと前記グレーティングとの間であって、且つレーザビームの光軸上に配設され、該レーザビームを該光軸の回りで回転させる光学素子と、前記光学素子をレーザビーム光軸を中心として回転可能に支持する支持手段とを具備し、前記光学素子による前記レーザビームの回転により前記ビームエキスパンダへ入射するレーザビームの幅が狭い方向を含む平面と前記ビームエキスパンダのビーム拡大方向を含む平面とがお互いに平行であり、且つ前記グレーティングへ入射するレーザビームのビームの拡大方向と前記グレーティングの複数の溝の方向とが直交するように調整することを特徴とする狭帯域発振エキシマレーザ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
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