感光性樹脂組成物

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-196284
公開番号（公開出願番号）：特開平5-040337
出願日： 1991年08月06日
公開日（公表日）： 1993年02月19日
要約：

【要約】【構成】式(1)で示される芳香族ジアミンと、【化1】一般式(2)で示されるテトラカルボン酸二無水物とを【化2】化学線により重合可能な炭素-炭素二重結合を含むアミド化合物中で反応させ、該アミド化合物を溶媒としたポリアミック酸溶液に、一般式(3)で示されるアミノアクリレート化合物【化3】と、吸収極大波長(λ max)が330〜500nmである増感剤を配してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。【効果】フッ酸処理後の密着性に優れ、しかも湿度処理後の密着性にも優れた高感度な感光性ポリイミド樹脂組成物が得られ、半導体製造工程が短縮できる。

請求項（抜粋）：

式(1)で示される芳香族ジアミンと、【化1】一般式(2)で示されるテトラカルボン酸二無水物とを【化2】化学線により重合可能な炭素-炭素二重結合を含むアミド化合物中で反応させ、該アミド化合物を溶媒としたポリアミック酸溶液に、一般式(3)で示されるアミノアクリレート化合物【化3】と、吸収極大波長(λ max)が330〜500nmである増感剤を配してなることを特徴とする感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 504 , C08L 79/08 LRB , G03F 7/027 514 , G03F 7/075 511 , H01L 21/027 , C08G 73/10 NTF

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