特許
J-GLOBAL ID：200903020752934416
被覆用樹脂組成物、被覆用樹脂組成物の製法、被膜及びフォトマスク
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-141703
公開番号（公開出願番号）：特開2003-327896
出願日： 2002年05月16日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：
【要約】【課題】帯電を防止して放電破壊を防ぐと共に紫外線照射に支障を生じない。【解決手段】ガラス基板の上面に酸化クロムの金属パターンを被着させ、その上にアクリル系樹脂及びウレタン系樹脂組成物の硬化物からなる被覆樹脂層を被覆形成する。アクリル系樹脂及びウレタン系樹脂組成物は、母液にリチウムを0.1wt%〜2.0wt%の範囲で含む。更に、平均粒径15ナノメーター程度の微細金属粉からなる酸化チタンを0.005wt%以上分散させる。リチウムによって帯電防止性能を確保し、酸化チタンによって導電性を確保して放電破壊を防止する。アクリル系樹脂及びウレタン系樹脂組成物を被覆樹脂層として用いると鉛筆硬度で4H以上の強度を有する。
請求項（抜粋）：
周期率表のI族の金属イオンを含んでいるアクリル系樹脂の溶液中にSi以外のIV族の微細な金属を含有させてなる被覆用樹脂組成物。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
2H095BC10
, 2H095BC24
, 4J038CG001
, 4J038DG001
, 4J038DG181
, 4J038DG321
, 4J038GA15
, 4J038HA066
, 4J038KA20
, 4J038NA20
, 4J038PB09
