板状体の搬送機構および搬送方法

発明者：
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-158943
公開番号（公開出願番号）：特開平8-026413
出願日： 1994年07月11日
公開日（公表日）： 1996年01月30日
要約：

【要約】【目的】基板のマッピングとアライメントとを同じ部材により高いスループットで行なうことができ、しかも搬送動作を妨げることがない板状体の搬送機構および搬送方法を提供することを目的とする。【構成】多数のLCD基板が収容されたカセット10を載置する載置台11と、この載置台11に対して突出退避可能に設けられ、突出状態で収納容器内のLCD基板Sを挟持してアライメントするための一対のアライメントバー13a,13bと、前記アライメントバー13a,13b部材に夫々設けられ、前記収納容器内の板状体を検出するための発光素子14aおよび受光素子14bと、前記カセット10から処理装置のステージ3へ前記基板状体を搬送する搬送部材とにより搬送機構が構成される。

請求項（抜粋）：

多数の板状体が収容された収納容器を載置する載置台と、この載置台に対して突出退避可能に設けられ、突出状態で収納容器内の板状体を挟持してアライメントするための一対のアライメント部材と、前記アライメント部材に設けられ、前記収納容器内の板状体を検出するための板状体検出器と、前記収納容器から他の位置へ前記板状体を搬送する搬送部材と、を具備することを特徴とする板状体の搬送機構。

IPC (5件)：

B65G 1/00 535 , B65G 1/06 511 , G02F 1/13 , G02F 1/1333 500 , H01L 21/68

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