特許
J-GLOBAL ID：200903020757706551
オリエンテーションフラット合わせ機内蔵型ウエハ収納装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
成田 擴其
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-146792
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334026
出願日： 1993年05月27日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 ウエハ搬送処理能力を向上させること。【構成】 ステージ3にセットされたカセット9内のウエハ7は、搬送ロボット4によってウエハ収納装置であるストッカー5に収納し、ストッカーからウエハディスク8に搬送、装着される。ストッカーのカセット12は対向配置された複数のスロットを備えており、エレベータ機構により上下動する。スロットの配置間隔内にウエハに対するオリエンテーションフラット合わせ機26を設置する。搬送ロボットでスロット内に搬送されたウエハは、合わせ機の回転台28に載せられ、センサ設置部29の反射型光電センサでオリエンテーションフラットを所定角度位置に合わせ、スロットに載置、収納される。オリエンテーションフラット合わせ中における搬送ロボットの待ち時間がなくなる。
請求項（抜粋）：
対向配置された複数のスロットを備え、複数枚のウエハが収納できるカセットと、このカセットを上下動させるエレベータ機構を有するウエハ収納装置において、前記スロットの配置間隔内に、ウエハのオリエンテーションフラットを所定角度に合わせるオリエンテーションフラット合わせ機を設けたことを特徴とするオリエンテーションフラット合わせ機内蔵型ウエハ収納装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01J 37/317
, H01L 21/265
