特許
J-GLOBAL ID：200903020768433344
検査用プローブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-169338
公開番号（公開出願番号）：特開平10-019931
出願日： 1996年06月28日
公開日（公表日）： 1998年01月23日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 本発明は、電極ピッチの微細な基板を高速で検査することができ、かつ製作の容易な検査用プローブの提供を目的とする。【解決手段】 本発明の検査用プローブは、基板中央部の開口部近傍に位置する第1の電極部3と基板の周辺近傍に位置する第2の電極部とが設けられ、両電極部間が配線され、第1の電極部3に先端に端子部7を有する複数の接続ワイヤ2が付設されたピッチ変換基板1と、接続ワイヤ2は前記開口部4を通ってピッチ変換基板1の下方に延出され、これらの接続ワイヤ2の全体を被覆する可撓性エラストマ樹脂部5と、これを覆うように形成された補強モールド6とからなり、前記複数の接続ワイヤ2の端子部7の先端は、前記可撓性エラストマ樹脂部5から露出しかつ被検査回路基板の電極と接触可能であることを特徴としている。
請求項（抜粋）：
基板の開口部近傍に位置する第1の電極部と基板の周辺近傍に位置する第2の電極部とが設けられ、両電極部間が配線され、第1の電極部に先端に端子部を有する複数の接続ワイヤが付設された基板と、接続ワイヤは前記開口部を通って基板の下方に延出され、これらの接続ワイヤの全体を被覆する可撓性エラストマ樹脂部と、これを覆うように形成された補強モールドとからなり、前記複数の接続ワイヤの端子部の先端は、前記可撓性エラストマ樹脂部から露出しかつ被検査回路基板の電極と接触可能であることを特徴とする検査用プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01R 1/073 D
, H01L 21/66 B
