特許
J-GLOBAL ID：200903020778318586
粒子ビーム装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-241615
公開番号（公開出願番号）：特開平8-106874
出願日： 1994年10月05日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：
【要約】【目的】 フィラメントの断線の有無を確実に検出することを可能にする。【構成】 一電源4に複数のフィラメント31 ,...3n が並列に接続されているフィラメント回路3をイオン源とする粒子ビーム装置において、フィラメント回路に並列に接続されたフィラメント回路と等価な等価回路7と、フィラメント回路を流れる電流を検出する第1の電流検出手段5と、等価回路を流れる電流を検出する第2の電流検出手段8と、第1および第2の電流検出手段の検出値に基づいてフィラメント回路のフィラメントの断線の有無を判定する判定手段10と、を備えていることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
一電源に複数のフィラメントが並列に接続されているフィラメント回路をイオン源とする粒子ビーム装置において、前記フィラメント回路に並列に接続された前記フィラメント回路と等価な等価回路と、前記フィラメント回路を流れる電流を検出する第1の電流検出手段と、前記等価回路を流れる電流を検出する第2の電流検出手段と、前記第1および第2の電流検出手段の検出値に基づいて前記フィラメント回路のフィラメントの断線の有無を判定する判定手段と、を備えていることを特徴とする粒子ビーム装置。
IPC (3件)：
H01J 37/248
, H01J 37/24
, H05H 7/08
