特許
J-GLOBAL ID：200903020778414798
ターボ分子ポンプ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡邉 勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-052981
公開番号（公開出願番号）：特開平11-093889
出願日： 1998年02月18日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 弁装置を含めた全体をコンパクトに構成することができるターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】 ケーシング16内にロータRとステータSが収容され、これらのロータ及びステータの間に排気機構40,48が構成されたターボ分子ポンプにおいて、ケーシングに設けられた吸気口18を開閉自在に覆う弁体20と、弁体を開閉駆動する弁駆動機構とを有し、弁駆動機構はターボ分子ポンプと一体に設けられている。
請求項（抜粋）：
ケーシング内にロータとステータが収容され、これらのロータ及びステータの間に排気機構が構成されたターボ分子ポンプにおいて、前記ケーシングに設けられた吸気口を開閉自在に覆う弁体と、該弁体を開閉駆動する弁駆動機構とを有し、該弁駆動機構は前記ターボ分子ポンプと一体に設けられていることを特徴とするターボ分子ポンプ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
F04D 19/04 G
, F04D 29/44 P
