特許

J-GLOBAL ID：200903020790145913

グロー放電発光分光分析方法

発明者： 松村 孝
出願人/特許権者： 川崎製鉄株式会社
代理人 (1件)： 小林 英一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-215505
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075653
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：

【要約】【目的】 試料の極表面層の深さ方向分布の分析、さらには非電気伝導性の試料の分析に適するグロー放電発光分光分析方法を提供する。【構成】 陽極と試料とされる陰極を備えた発光部を有する高周波グロー放電発光分光分析装置を用い、かつ本放電を行うに先立ち高周波電源を用いて予備放電を行うことにより、極表面層の深さ方向の元素分析を正確に、簡易かつ迅速に分析することを可能にする。

請求項（抜粋）：

陽極と試料を保持する陰極とを備えた発光部を有する高周波グロー放電発光分光分析装置を用い、かつ本放電を行うに先立ち高周波電源を用いて予備放電を行うことを特徴とするグロー放電発光分光分析方法。