特許

J-GLOBAL ID：200903020794411235

走査型近距離場光学顕微鏡

発明者： ポール・ウルフガング・ディエテル ,  クールジョン・ダニエル
出願人/特許権者： インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレイション
代理人 (1件)： 頓宮 孝一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-207946
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140155
出願日： 1993年08月23日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：

【要約】【目的】鋭く尖ったプローブ・チップにより、最大λ/20 の直径を有する光ビームを放射し又は受光し、対象の試料の表面を横切って走査するタイプの走査型近距離場光学顕微鏡を提供する。【構成】試料(11)により反射され且つ(又は)試料(11)を透過した光が検出器(16)により検出され更にコンピュータ(24)により処理される。光を放射するプローブ・チップ(13)と検査対象の試料(11)の間の距離も同様にλ/20 の程度であるので、試料(11)の表面は前記プローブ・チップ(13)の近距離場の範囲内にある。この光学顕微鏡は、プローブ・チップ(13)と試料(11)の間のギャップが、プローブ・チップ(13)により放射され又は受光された光波の強度を、液の内部で前記強度が1/eに減少する距離として定義された光波の浸透の深さz0が100 nm未満になる程度に減衰させるように、大きな負の誘電率εを有する高い不透明度の液で満たされる。

請求項（抜粋）：

最大λ/20 の直径を有する光ビームが鋭く尖ったプローブ・チップから放射され、検査対象の試料の表面を横切って走査するタイプの走査型近距離場光学顕微鏡であって、前記試料により反射され又は前記試料を透過した光が検出され処理され、そして前記光を放射するプローブ・チップと前記検査すべき試料の間の距離もλ/20 の程度に設定され、前記プローブ・チップと前記試料の間のギャップが、前記プローブ・チップにより放射された光波の強度を、前記強度が1/e に減少する距離として定義された前記光波の浸透の深さzoが100 nm未満になる程度に減衰させるように、大きな負の誘電率εを有する高い不透明度の液で満たされることを特徴とする走査型近距離場光学顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 102 ,  G02B 21/00