超音波洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-168728
公開番号（公開出願番号）：特開平9-019665
出願日： 1995年07月04日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【課題】この発明は振動子の端部間の絶縁ギャップの部分で振動板に発生する超音波振動が弱くなるのを防止した超音波洗浄装置を提供することにある。【解決手段】装置本体11と、この装置本体に設けられ上記洗浄液に超音波振動を付与するための帯状の振動板21と、この振動板の長手方向に沿って所定間隔の絶縁ギャップGを介して設けられているとともに上記絶縁ギャップが上記振動板の長手方向と直交する幅方向に対して平行に貫通しないよう端部の形状が設定された複数の振動子24とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

被洗浄物を洗浄する洗浄液に超音波振動を付与するための超音波洗浄装置において、装置本体と、この装置本体に設けられ上記洗浄液に超音波振動を付与するための帯状の振動板と、この振動板の長手方向に沿って所定間隔の絶縁ギャップを介して設けられているとともに上記絶縁ギャップが上記振動板の長手方向と直交する幅方向に対して平行に貫通しないよう端部の形状が設定された複数の振動子とを具備したことを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (4件)：

B08B 3/12 , B06B 1/06 , B06B 3/00 , H01L 21/304 341

FI (4件)：

B08B 3/12 B , B06B 1/06 Z , B06B 3/00 , H01L 21/304 341 M

引用特許：

審査官引用 (9件)

超音波洗浄方式及び超音波洗浄装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-283586 出願人：株式会社国際電気エルテック, 株式会社渡邊商行
特開昭62-286231
超音波洗浄用ノズル装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-188814 出願人：株式会社東芝

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