特許
J-GLOBAL ID:200903020797020946

研磨液

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 柳田 征史 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-076896
公開番号(公開出願番号):特開平10-273648
出願日: 1997年03月28日
公開日(公表日): 1998年10月13日
要約:
【要約】【課題】 水溶液に研磨剤を分散してなる研磨液の経時による凝集およびゲル化による固化を抑制し取り扱い性を改善し良好な研磨性を確保する。【解決手段】 被研磨体1を研磨するときに用いる研磨剤と水溶液からなる研磨液16であって、この研磨液がアルコールを3〜50wt%含んでなる。
請求項(抜粋):
被研磨体を研磨するときに用いる研磨剤と水溶液からなる研磨液において、該研磨液がアルコールを、3〜50wt%含むことを特徴とする研磨液。

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