特許
J-GLOBAL ID：200903020802487386
バッファ・カセット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-335078
公開番号（公開出願番号）：特開平5-166917
出願日： 1991年12月18日
公開日（公表日）： 1993年07月02日
要約：
【要約】【目的】搬送ロボットの水平方向への移動が不要となり、処理装置の配設位置の自由度並びにプロセス全体のスループットの向上が図られるバッファ・カセットを提供する。【構成】上下方向に複数構成されたウエハ支持部15に対して3方向以上からアクセスが可能なように、各ウエハ支持部15の周方向の3か所以上を開放して、ウエハの送り込み及び取り出しが可能なアクセス通路を形成する。
請求項（抜粋）：
ウエハを水平に支持する支持手段を上下方向に複数構成したバッファ・カセットにおいて、前記支持手段は、前記ウエハの送り込み及び取り出しが可能なアクセス通路を、周方向の3か所以上に有することを特徴とするバッファ・カセット。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65D 85/38
, B65D 85/60
, B65H 1/28 321
