特許

J-GLOBAL ID：200903020806307390

研削装置および研磨装置

発明者： 関 田 三 郎
出願人/特許権者： 芝山機械株式会社
代理人 (1件)： 蔵合 正博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-220144
公開番号（公開出願番号）：特開平10-058320
出願日： 1996年08月21日
公開日（公表日）： 1998年03月03日
要約：

【要約】【課題】 回転テーブルに対する砥石の角度を容易に微調整する。【解決手段】 スピンドルヘッド11を背面板7およびスライド板6を介してコラム3にスライド可能に取り付け、背面板7の下部とスピンドルヘッド11の下部の間を球関節継手9で支持するとともに、スピンドルヘッド11の上部と背面板7の上部の間にモータ15により駆動されるピッチに差を設けた差動ねじ機構8を設けて、スピンドルヘッド11を背面板7に対して少なくとも前後方向に傾動可能に保持する。モータ15により差動ねじ機構8を動作させることにより、スピンドル13に保持された砥石14の回転テーブル2に対する角度を容易に微調整することができる。

請求項（抜粋）：

回転するテーブルに固定された加工材料を、スピンドルに取り付けられた砥石により研削する研削装置において、前記スピンドルを回転可能に支持するスピンドルヘッドを背面板を介して装置のコラムに取り付け、前記背面板の下部とスピンドルヘッドの下部との間を球関節継手で支持するとともに、スピンドルヘッドの上部と背面板の上部との間にモータにより駆動されるピッチに差を設けた差動ねじ機構を設けて、スピンドルヘッドを背面板に対して少なくとも前後方向に傾動可能に保持したことを特徴とする研削装置。

IPC (3件)：

B24B 41/04 ,  H01L 21/304 321 ,  H01L 21/304

FI (3件)：

B24B 41/04 ,  H01L 21/304 321 B ,  H01L 21/304 321 E