特許

J-GLOBAL ID：200903020811560657

デバイス製造装置

発明者： 松井 貴靖
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-214777
公開番号（公開出願番号）：特開2000-031032
出願日： 1998年07月15日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：

【要約】【課題】 チャッククリーニング動作時における緊急停止時に、チャッククリーニングプレートの落下を防止するとともに、装置内の他部分との干渉による破壊を防止する。【解決手段】 クリーニングプレートとチャックとを接触させた状態で両者を相対的に移動させて、該チャックのクリーニングを行う機能を有するデバイス製造装置において、前記クリーニングプレートを保持する保持手段に、該クリーニングプレートの落下防止機構を設ける。

請求項（抜粋）：

チャック上でクリーニングプレートを保持する保持手段と、該クリーニングプレートと該チャックとを接触させた状態で両者を相対的に移動させてチャックのクリーニングを行う手段とを有し、該保持手段は保持したクリーニングプレートの落下防止機構を備えていることを特徴とするデバイス製造装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/30 503 C ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/30 503 G

Fターム (8件)：

5F031AA10 ,  5F031FF01 ,  5F031FF03 ,  5F031FF05 ,  5F031KK04 ,  5F031KK20 ,  5F046AA17 ,  5F046CC08