特許

J-GLOBAL ID：200903020812931373

感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメント

発明者： 佐藤 邦明 ,  小島 康則 ,  菊地 宣 ,  西澤 廣
出願人/特許権者： 日立化成工業株式会社
代理人 (1件)： 若林 邦彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172343
公開番号（公開出願番号）：特開平5-019475
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月29日
要約：

【要約】【目的】 感光性ポリイミドの厚膜形成性を改善し、厚膜として使用しても光感度に優れ、室温で長期間放置しても光感度が低下しない感光性樹脂組成物を提供すること。【構成】 共有結合又はイオン結合を解してビニル基を導入した感光性ポリイミドに、光開始剤として3-ケトクマリン化合物及びN-アリール-α-アミノ酸化合物、橋架け剤として多官能性アクリレートを配合してなる感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントである。上記のアミノ混合物化合物のベンゼン環は、シアノ基、アセチル基等の電子吸引性基で置換されているので、組成物の光感度は長期間経過後でも低下しない。

請求項（抜粋）：

(A)一般式(I)又は(II)【化1】〔式中、R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 、R9、R10、R11、R12、R13、R14及びR15は、それぞれ独立に水素原子、ヒドロキシ基、アルキル基、アリール基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、アルコキシ基又はアシル基を表し、R16はアルキル基、アリール基、アルコキシ基又は複素環基を表し、R1 〜R16においてアルキル基、アリール基又は複素環基が存在する場合、これらの基はヒドロキシ基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、アルコキシ基又はシアノ基で1個以上置換されていてもよい〕で示されるクマリン化合物、(B)一般式(III)【化2】〔式中、R17、R18、R19、R20及びR21は、それぞれ独立に水素原子、シアノ基、ニトロ基又はアシル基を表し、少なくとも1個は電子吸引性のシアノ基、ニトロ基又はアシル基を表し、R22は水素原子、アルキル基又はアリール基を表し、R23及びR24は、それぞれ独立に水素原子又はアルキル基を表し、R22〜R24においてアルキル基又はアリール基が存在する場合、これらの基はヒドロキシ基、アルキルアミノ基、ジアルキルアミノ基、アルコキシ基又はシアノ基で1個以上置換されていてもよい〕で示されるN-アリール-α-アミノ酸化合物及び(C)ポリアミド酸とエチレン性不飽和基を有するイソシアナート化合物、エチレン性不飽和基を有するアミン化合物若しくはエチレン性不飽和基を有するエポキシ化合物との反応物又は一般式(IV)【化3】〔式中、R25は4価の有機基を表し、R26は2価の有機基を表し、Yは1価のエチレン性不飽和基を有する有機基を表し、nは0又は1、mは1又は2であり、かつn+m=2となるように選ばれる〕で表される繰り返し単位を有する樹脂を含んでなる感光性樹脂組成物。

IPC (6件)：

G03F 7/038 504 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  H01L 21/027 ,  H05K 3/28