特許

J-GLOBAL ID：200903020823513115

イオン交換型光デバイスの製造方法

発明者： 林 智幸 ,  安間 康浩 ,  定行 勝 ,  石津 淳子
出願人/特許権者： エフ・ディ-・ケイ株式会社
代理人 (1件)： 茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-268129
公開番号（公開出願番号）：特開2001-091776
出願日： 1999年09月22日
公開日（公表日）： 2001年04月06日
要約：

【要約】【課題】 イオン交換型の光導波路において、微細周期でイオン濃度分布を制御でき、所望の屈折率分布を形成できるようにする。また、イオン交換型の光導波路に所望のサブミクロン周期でグレーティングを形成できるようにする。【解決手段】 イオン交換法によってガラス基板に光導波路を形成し、該光導波路に局所的に電子線照射してイオンを移動させることにより、イオン濃度を変化させて屈折率の異なる部分を形成する。典型的な例としては、イオン交換法によってガラス基板に光導波路を形成し、該光導波路に局所的に且つ周期的に電子線を照射してイオンを移動させることにより、イオン濃度を周期的に変化させてグレーティングを形成する。例えば、ガラス基板としてNaを含むガラスを用い、交換イオンとしてAgイオン又はKイオンを用いる。

請求項（抜粋）：

イオン交換法によってガラス基板に光導波路を形成し、該光導波路に局所的に電子線照射してイオンを移動させることにより、イオン濃度を変化させて屈折率の異なる部分を形成することを特徴とするイオン交換型光デバイスの製造方法。

Fターム (7件)：

2H047LA01 ,  2H047PA11 ,  2H047PA13 ,  2H047PA21 ,  2H047PA30 ,  2H047QA04 ,  2H047TA43