特許
J-GLOBAL ID：200903020831756060
パターン形成体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
山下 昭彦
, 岸本 達人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-104198
公開番号（公開出願番号）：特開2007-279297
出願日： 2006年04月05日
公開日（公表日）： 2007年10月25日
要約：
【課題】本発明は、複数の高さの機能性部を効率よく形成することが可能であり、かつ形成された機能性部と基板との密着性を良好なものとすることが可能なパターン形成体の製造方法を提供することを主目的としている。【解決手段】上記目的を達成するために、本発明は、透明基板と、前記透明基板上にパターン状に形成された第1機能性部と、前記透明基板上にパターン状に形成され、かつ前記第1機能性部より高さの高い第2機能性部とを少なくとも有するパターン形成体の製造方法であって、前記透明基板上に感光性樹脂層形成用塗工液を塗布して感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、前記透明基板側から、前記第1機能性部を形成する領域および前記第2機能性部を形成する領域に形成された前記感光性樹脂層を露光する裏面露光工程と、前記感光性樹脂層を現像する現像工程とを含む機能性部形成工程により、前記第1機能性部および前記第2機能性部を形成することを特徴とするパターン形成体の製造方法を提供する。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
透明基板と、前記透明基板上にパターン状に形成された第1機能性部と、前記透明基板上にパターン状に形成され、かつ前記第1機能性部より高さの高い第2機能性部とを少なくとも有するパターン形成体の製造方法であって、
前記透明基板上に感光性樹脂層形成用塗工液を塗布して感光性樹脂層を形成する感光性樹脂層形成工程と、
前記透明基板側から、前記第1機能性部を形成する領域および前記第2機能性部を形成する領域に形成された前記感光性樹脂層を露光する裏面露光工程と、
前記感光性樹脂層を現像する現像工程と
を含む機能性部形成工程により、前記第1機能性部および前記第2機能性部を形成することを特徴とするパターン形成体の製造方法。
IPC (2件)：
FI (4件)：
G02B5/20 101
, G02F1/1335 505
, G02F1/1335 520
, G02F1/1335 525
2H048BA11
, 2H048BA43
, 2H048BA45
, 2H048BA48
, 2H048BB02
, 2H048BB07
, 2H048BB08
, 2H048BB42
, 2H091FA02Y
, 2H091FA15Y
, 2H091FB02
, 2H091FC10
, 2H091FC12
, 2H091LA12
, 2H091LA13
