荷電粒子線装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高田幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-169759
公開番号（公開出願番号）：特開平9-022676
出願日： 1995年07月05日
公開日（公表日）： 1997年01月21日
要約：

【要約】【目的】本発明の一つの目的は光学顕微鏡と粒子線光学系との光軸間距離を正確に校正することを可能にするのに適した荷電粒子線装置を提供することにある。【構成】走査電子顕微鏡を例として説明する。X、Yステ-ジ2上に光学顕微鏡5と電子光学系との相互の光軸間距離Lに相当する距離だけ隔てて配置された基準パタ-ン10、11を設け、これらのパタ-ンの画像信号を画像処理回路12に取り込んで、基準パタ-ン10、11に対する光学顕微鏡5の光軸、電子光学系の光軸の位置ずれをそれぞれ演算して求め、このずれを走査電子顕微鏡の実際の測定の際にオフセットとすることで、正確な位置決めがなされる。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を発生させる荷電粒子線と前記荷電粒子線をステ-ジに搭載された試料に向ける手段とを含む荷電粒子線光学系を有すると共に前記試料を観察する光学顕微鏡を有する荷電粒子線装置において、前記ステ-ジに第1及び第2の基準パタ-ンを設け、該第1及び第2の基準パタ-ンを前記光学顕微鏡及び前記荷電粒子線光学系を用いてそれぞれ独立に観察し、位置測定するように構成したことを特徴とする荷電粒子線装置。

IPC (3件)：

H01J 37/20 , H01J 37/22 502 , H01L 21/027

FI (4件)：

H01J 37/20 D , H01J 37/22 502 L , H01L 21/30 502 G , H01L 21/30 541 K

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