半田ボールマウント装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：仁科勝史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-150071
公開番号（公開出願番号）：特開平10-326807
出願日： 1997年05月23日
公開日（公表日）： 1998年12月08日
要約：

【要約】【解決課題】1台の画像認識カメラにより、半田ボール搭載前の基板の画像認識による位置決め及び半田ボール搭載後の検査、更には半田ボール残量確認やフラックス残量確認といった検査をも行うるだけでなく、基板の位置あわせと半田ボール塔載検査を同じ場所で行いうるようにし、絶対位置を検出し、正確なる半田ボール塔載検査が可能なものとする。【解決手段】半田ボールを基板上の所定位置に搭載する半田ボールマウント装置の画像認識カメラを次のように構成する。画像認識カメラを半田ボール吸着ヘッドと同一の保持体にて保持する。同一の画像認識カメラにより、基板上のターゲットマークの位置または半田ボールが搭載されるランド位置の確認と、半田ボールの残量の確認と、基板に半田ボールが適正に搭載されたかどうかの確認とを行う。

請求項（抜粋）：

半田ボールを基板上の所定位置に搭載する半田ボールマウント装置において、画像認識カメラを半田ボール吸着ヘッドと同一の保持体にて保持し、該同一の画像認識カメラにより、基板上のターゲットマークの位置または半田ボールが搭載されるランド位置の確認と、半田ボールの残量の確認と、基板に半田ボールが適正に搭載されたかどうかの確認とを行うことを特徴とする半田ボールマウント装置。

IPC (2件)：

H01L 21/60 311 , H01L 21/321

FI (4件)：

H01L 21/60 311 S , H01L 21/92 604 H , H01L 21/92 604 T , H01L 21/92 604 Z

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