特許
J-GLOBAL ID：200903020842434099
半導体加速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319349
公開番号（公開出願番号）：特開平9-159692
出願日： 1995年12月07日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、低電流或いは小面積で駆動可能な低コストの自己診断機能を実現することを目的とする。【解決手段】 自己診断用の第1の線路11及びこの第1の線路11の配置に対応してこれと平行に形成された第2の線路相互間の駆動用直流電流の方向を同方向又は逆方向に切替える電流方向切替手段16を有することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
半導体基板上に形成され少なくとも一端が支持された梁と、該梁に支持され外力に応じて変位する重り部と、前記梁上に形成され前記重り部の変位に応じて抵抗値が変化するピエゾ抵抗と、前記重り部上に形成された自己診断用の第1の線路と、前記重り部と所定の間隔を有して対向するように設置したキャップの対向面上に前記第1の線路の配置に対応してこれと平行に形成された自己診断用の第2の線路とを有し、前記第1及び第2の線路を直流電流で駆動することで生じるローレンツ力により前記重り部に疑似加速度を印加してセンサ機能を自己診断するようにした半導体加速度センサにおいて、前記第1の線路及び第2の線路相互間の電流方向を同方向又は逆方向に切替える電流方向切替手段を有することを特徴とする半導体加速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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