特許
J-GLOBAL ID：200903020847950826
イオン注入機用のイオン源とそのカソード構造
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
萼 経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-298290
公開番号（公開出願番号）：特開平10-134728
出願日： 1997年10月30日
公開日（公表日）： 1998年05月22日
要約：
【要約】【課題】イオン注入機に用いる新規で改良されたイオン源及びそのカソード構造を提供すること。【解決手段】イオン注入機に用いるイオン源は、ガスイオン化領域を定める導電性のチャンバ壁(130a 〜130d) を有する。ガス閉塞室は、イオンをこの室から放出する出口開口78を有し、ガス閉塞室から出たイオンによりイオンビームを形成するための分析磁石と引出し電極等の構造に対してイオン源ハウジング、フランジ82、イオン源ブロック120 で構成されるガス閉塞室の基台が配置される。
請求項（抜粋）：
(a) ガスイオン化領域と境を接するチャンバ壁を有し、イオンを排出するための出口開口を備えるガス閉塞室と、(b) このガス閉塞室にイオン化可能なガスを配給するためのガス配給装置と、(c) イオンが前記ガス閉塞室を出るときにイオンビームを形成するための構造体に対して、前記ガス閉塞室を所定の位置に支持する支持体と、(d) イオン化電子を前記ガス閉塞室のイオン化領域に放出し、ガス分子をイオン化するために、前記ガス閉塞室のイオン化領域に対して配置されるカソードと、(e) このカソードを支持するために前記ガス閉塞室に取り付けられ、カソードを前記ガス閉塞室から電気的に絶縁する絶縁体とを備えており、(f) 前記カソードは、導電性のカソード本体からなり、内部領域と境を接し前記ガス閉塞室の内部に伸びる外側表面と、前記カソード本体の内部領域内の位置で前記絶縁体によって支持され、前記カソード本体を加熱するフィラメントとを有し、イオン化電子が前記カソード本体から前記ガス閉塞室内に放出されることを特徴とする、イオン注入機用のイオン源。
IPC (5件)：
H01J 27/08
, C23C 14/48
, H01J 37/08
, H01J 37/317
, H01L 21/265
H01J 27/08
, C23C 14/48 Z
, H01J 37/08
, H01J 37/317 Z
, H01L 21/265 603 A
