特許
J-GLOBAL ID：200903020853508124
有機薄膜及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
若林 忠
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-028417
公開番号（公開出願番号）：特開平5-220887
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年08月31日
要約：
【要約】【構成】 基板1上に有機硅素化合物よりなる吸着層2、ポリイミドLB膜3を積層してなる有機薄膜10において、前記有機硅素化合物がフルオロアルキル基及びアルコキシル基又は塩素を含有し、有機薄膜の赤外吸収スペクトルが1750〜1650cm-1及び1300〜1100cm-1にある有機薄膜及びその製造方法。【効果】 耐熱性、耐薬品性に優れた低表面エネルギー有機薄膜を簡便に製造できる。
請求項（抜粋）：
基板上に有機硅素化合物からなる吸着層及びポリイミドの単分子膜又は単分子累積膜を形成してなり、該有機硅素化合物がフルオロアルキル基及びアルコキシル基又は塩素を有してなり、1750〜1650cm-1及び1300〜1100cm-1に強い赤外吸収スペクトルを呈することを特徴とする有機薄膜。
IPC (12件)：
B32B 9/00
, B01J 19/00
, B05D 1/20
, H01L 29/28
, C08G 73/10 NTB
, C10M107/00
, C10M107:50
, C10M107:44
, C10N 30:06
, C10N 40:18
, C10N 50:10
, C10N 70:00
