特許

J-GLOBAL ID：200903020855426320

チャックアッセンブリ及びチャック方法

発明者： ダブリュ-.ト-マス ノヴァック
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-319057
公開番号（公開出願番号）：特開2002-203782
出願日： 2001年10月17日
公開日（公表日）： 2002年07月19日
要約：

【要約】【解決課題】 半導体露光装置等中でレチクルを保持する場合、露光装置自体の振動による力がレチクルに伝わったり、露光ビームによりレチクルの温度が上昇して膨張による力がレチクルに伝わる。このためレチクルは弓状に変形したり、保持装置上でズレを生じることがある。その結果として正しくパタ-ンの露光が出来なくなる。【解決手段】 レチクルを保持する際にレチクルが特定の方向に変位・変形が可能になるように保持する。具体的にはレチクルが面内方向にのみ変位可能なように保持する。特に保持中心は不変にする。

請求項（抜粋）：

対象物を移動フレームに結合するチャックアッセンブリであって、該チャックアッセンブリは、該フレームに取り付けられた複数の結合部材と、該結合部材の各々に取り付けられた第1の拘束部材と、を有し、該結合部材の各々はそれに取り付けられた該第1の拘束部材をフレームの移動と平行な面内にあるひとつの軸に沿って変位可能になし、該第1の拘束部材は該対象物に配置された第2の拘束部材とかみ合うようになされている、ことを特徴とするチャックアッセンブリ。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 ,  H01L 21/68

FI (7件)：

G03F 7/20 521 ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/68 N ,  H01L 21/30 541 L ,  H01L 21/30 541 S ,  H01L 21/30 515 F

Fターム (17件)：

5F031CA07 ,  5F031DA13 ,  5F031EA18 ,  5F031HA12 ,  5F031HA37 ,  5F031HA38 ,  5F031HA53 ,  5F031KA01 ,  5F031LA08 ,  5F031MA27 ,  5F031PA11 ,  5F046CC02 ,  5F046CC09 ,  5F056AA06 ,  5F056AA22 ,  5F056EA11 ,  5F056FA04