特許

J-GLOBAL ID：200903020857999661

位置決め装置

発明者： 梶谷 誠一 ,  井野 繁晴 ,  井原 義之 ,  西田 明夫 ,  原田 吉典
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 梅田 勝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-331617
公開番号（公開出願番号）：特開平7-191293
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年07月28日
要約：

【要約】【目的】 高精度な位置決めを安定して行うことができる位置決め装置を提供する。【構成】 モータ2は所定のパルス数の入力を受けて該パルス数に応じた回転をすると、回転はモータ2の駆動軸より、咬み合うネジ部3を介して1軸送りテーブル4に伝えられ、1軸送りテーブル4は、矢印C方向に移動する。1軸送りテーブル4の矢印C方向の移動に伴い、回転案内機構5も同様に矢印C方向に移動することにより、回転案内機構5と回転部5aにより接続する直線案内機構6は矢印C方向に移動し、また、回転部5aは矢印E方向に回転する。そして、直線案内機構6の矢印C方向の移動により、クロスローラリング7により受けられた回転テーブル8は回転中心点Bを中心に矢印J方向に回転する。

請求項（抜粋）：

出力源により一定方向に摺動自在になされた1軸送りテーブルと、該1軸送りテーブルに設けられ、一端に回転自在な回転部を有する回転案内機構と、回転テーブルと、前記回転案内機構の回転部で接続される一方、前記回転テーブルに連結されて、前記1軸送りテーブルの摺動に応動して前記回転案内機構の回転部及び前記回転テーブルのそれぞれの回転中心を結ぶ線方向に摺動自在になされた直線案内機構とからなることを特徴とする位置決め装置。

IPC (5件)：

G02F 1/13 101 ,  B23Q 1/52 ,  B23Q 5/34 520 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68