特許

J-GLOBAL ID：200903020865762280

硬質炭素膜被覆部材およびその製法

発明者： 厚主 成生
出願人/特許権者： 京セラ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-099588
公開番号（公開出願番号）：特開平6-306610
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月01日
要約：

【要約】【構成】少なくとも炭素源ガスと、例えば基体1中に含まれる金属元素を含有するガスと含む原料ガスを反応室内に導入し、その原料ガスを励起して基板1に接触させ、基板1上に硬質炭素3と金属元素と炭素との化合物2を同時に析出させることにより、膜中に金属元素と炭素との化合物2を含有する硬質炭素膜被覆部材を得る。【効果】ダイヤモンドなどの硬質炭素膜自体の強度を高めるとともに、基体との密着性を高めることができる。しかも、基体を特に制限することなく、同様な効果を得ることができる。また、製法上も硬質膜形成工程以外に格別な中間層形成工程を必要としない。

請求項（抜粋）：

所定の基体表面に硬質炭素膜を被覆してなる硬質炭素膜被覆部材において、前記硬質炭素膜中に金属元素と炭素との化合物を含有することを特徴とする硬質炭素膜被覆部材。

IPC (2件)：

C23C 16/26 ,  C23C 16/32

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-267268
  
• 特開昭61-106494
  
• 特公昭61-015952