特許

J-GLOBAL ID：200903020869121840

減圧容器の製造方法

発明者： 原 鉄三 ,  小林 真司
出願人/特許権者： 株式会社村田製作所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-266836
公開番号（公開出願番号）：特開2000-100984
出願日： 1998年09月21日
公開日（公表日）： 2000年04月07日
要約：

【要約】【課題】密閉容器のキャビティの圧力を所定の真空度(減圧度)に調整して均一化し、キャビティに封入した機能素子の動作特性の揃った減圧容器の製造方法を提供する。【解決手段】機能素子2の形成された支持基板1を、凹部4の形成された蓋基板3で真空中で密閉し、この密閉した容器10aを真空チャンバ6内に収容した後、真空チャンバ6内に拡散係数の大きいガスを導入してキャビティ4a内に浸透させ、キャビティ4aの圧力を調整する減圧容器の製造方法。

請求項（抜粋）：

キャビティを内部に有する容器を真空中で密閉し、該密閉容器をチャンバ内に収容した後、該チャンバ内に拡散係数の大きいガスを導入して前記密閉容器のキャビティ内に浸透させ、該キャビティの圧力を調整する減圧容器の製造方法。

IPC (2件)：

H01L 23/02 ,  H01L 29/84

FI (2件)：

H01L 23/02 Z ,  H01L 29/84 Z

Fターム (4件)：

4M112AA02 ,  4M112DA20 ,  4M112FA11 ,  4M112GA01