特許

J-GLOBAL ID：200903020869632763

静電容量式変位検出装置

発明者： 中山 賢一
出願人/特許権者： 株式会社ミツトヨ
代理人 (1件)： 吉田 研二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-350020
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165606
出願日： 1999年12月09日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：

【要約】【課題】 静電容量式変位検出装置において、送信信号線と検出信号線とのクロストークを防止する。【解決手段】 相対移動可能に設けられた2つのスケールにそれぞれ送信信号線群10と受信信号線が形成され、スケールの移動に伴って送信信号線と受信信号線間の容量結合の大きさが変化することを検出信号線群12で検出する。送信信号線群10と検出信号線群12は多層構造の異なる層に形成され、検出信号線群12の互いに差動関係にある信号線群は送信信号線群10からほぼ等距離になるように配置される。差動関係にある検出信号線群12に混入するクロストーク成分がほぼ同一となり、差分を演算することでクロストーク分を除去することができる。

請求項（抜粋）：

対向するスケールに形成された受信電極と容量結合する送信電極群及び検出電極群を有する静電容量式変位検出装置であって、前記送信電極群に信号を供給する送信信号線群と前記検出電極群からの信号を伝達する検出信号線群は多層構造の異なる層に形成され、前記検出信号線群の中で差動関係にある信号線群は前記送信信号線群に対して略等しい距離に配置されることを特徴とする静電容量式変位検出装置。

Fターム (10件)：

2F063AA02 ,  2F063CA08 ,  2F063CA34 ,  2F063DA02 ,  2F063DD06 ,  2F063HA01 ,  2F063HA05 ,  2F063HA09 ,  2F063HA20 ,  2F063LA23