特許
J-GLOBAL ID:200903020872064164

レーザ加工装置の加工ヘッド

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 服部 毅巖
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-004312
公開番号(公開出願番号):特開平5-185265
出願日: 1992年01月14日
公開日(公表日): 1993年07月27日
要約:
【要約】【目的】 集光レンズを効果的に冷却して安定したレーザ加工を行うことができるようにする。【構成】 アシストガスは導入口47を経由して側壁部分241に設けられたマニホールド28に一旦導入され、さらにスリット29から加工チャンバ26内に流れ込む。このスリット29は、集光レンズ21の下端側において、レンズホルダ22と側壁部分241との間で全周にわたって均等に設けられるため、スリット29を通過したアシストガスは、集光レンズ21の下端側表面に沿って均等に噴出される。したがって、従来冷却が不十分であった集光レンズ21が効果的に冷却される。その結果、集光レンズ21の熱歪みが抑制され、安定したレーザ加工が可能となり、加工性能が向上する。
請求項(抜粋):
レーザビームをレンズを用いて集光し被加工物に照射してレーザ加工を行うレーザ加工装置の加工ヘッドにおいて、前記レンズの外周にアシストガスの吹き出し口を設けたことを特徴とするレーザ加工装置の加工ヘッド。
IPC (2件):
B23K 26/06 ,  B23K 26/14
引用特許:
審査官引用 (1件)
  • 特開昭59-142520

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