特許

J-GLOBAL ID：200903020877256940

改質多環式ポリマー

発明者： サイクマル・ジャヤラマン ,  ジョージ・エム・ベネディクト ,  ラリー・エフ・ローデス ,  リチャード・ヴィカリ ,  ロバート・ディ・アレン ,  リチャード・エイ・ディピエトロ ,  ラトナム・ソーリヤクマラン ,  トーマス・ワロウ
出願人/特許権者： ザ ビー.エフ.グッドリッチ カンパニー ,  インターナショナル・ビジネス・マシーンズ・コーポレーション
代理人 (1件)： 大島 正孝
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-532461
公開番号（公開出願番号）：特表2002-504577
出願日： 1999年02月19日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：

【要約】本発明は環式ポリマーおよび光リソグラフ用途にそれを使用することに関する。この環式ポリマーは酸不安定性ペンダント官能基と保護ヒドロキシル基を含む官能基とを含有する。このポリマーはペンダントヒドロキシル基を脱保護しそして脱保護されたヒドロキシル基を含有する基を共反応試剤と反応させることによって後改質させる。この後官能化されたポリマーは化学増幅型ホトレジスト組成物への利用を見出した。

請求項（抜粋）：

酸不安定性ペンダント官能基および保護ヒドロキシル部分を含む保護官能基を含有する環式主鎖を含むポリマー。

IPC (4件)：

C08F 32/00 ,  C08F 36/00 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075

FI (4件)：

C08F 32/00 ,  C08F 36/00 ,  G03F 7/038 ,  G03F 7/075

Fターム (47件)：

2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ10 ,  2H025CB08 ,  2H025CB34 ,  2H025CB41 ,  2H025CB45 ,  4J100AR09P ,  4J100AR09R ,  4J100AR11P ,  4J100AR11Q ,  4J100BA03H ,  4J100BA03P ,  4J100BA12P ,  4J100BA14H ,  4J100BA15H ,  4J100BA16H ,  4J100BA16P ,  4J100BA20H ,  4J100BA20P ,  4J100BA20Q ,  4J100BA22R ,  4J100BA34H ,  4J100BA38H ,  4J100BA40H ,  4J100BA56H ,  4J100BA76P ,  4J100BC43P ,  4J100BC53H ,  4J100BC55P ,  4J100BC66H ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100CA31 ,  4J100FA08 ,  4J100HA08 ,  4J100HA45 ,  4J100HA61 ,  4J100JA38