機能性薄膜、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、プリンタ、圧電体素子の製造方法およびインクジェット式記録ヘッドの製造方法、

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：稲葉良幸 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-163867
公開番号（公開出願番号）：特開2000-079689
出願日： 1999年06月10日
公開日（公表日）： 2000年03月21日
要約：

【要約】【課題】製造工数が少なく信頼性を向上できる圧電体素子の提供。【解決手段】 1層以上の圧電体薄膜層(43)と、2層以上の電極層(42,44)と、を備える圧電体素子(40)である。隣接する層間には、それぞれの層の成分が混合した混合層(512,523,534)が形成されている。

請求項（抜粋）：

異なる成分で形成された薄膜層の間に、それぞれの薄膜層の成分が混合した混合層を備えていることを特徴とする機能性薄膜。

IPC (6件)：

B41J 2/045 , B41J 2/055 , B41J 2/16 , H01L 41/09 , H01L 41/187 , H01L 41/22

FI (5件)：

B41J 3/04 103 A , B41J 3/04 103 H , H01L 41/08 C , H01L 41/18 101 D , H01L 41/22 Z

引用特許：

審査官引用 (3件)

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