特許
J-GLOBAL ID：200903020879346033
結晶の面方位測定方法および結晶の面方位測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-069879
公開番号（公開出願番号）：特開平9-257692
出願日： 1996年03月26日
公開日（公表日）： 1997年10月03日
要約：
【要約】【課題】 大型・高コストの装置を用いることなく高精度に結晶方位を測定する。【解決手段】 結晶表面に照射する直線偏光された光を発生するための光源と、結晶表面に照射するレーザー光を発生するための光源と、前記結晶で反射する光の強度を測定する受光器7と、ある結晶軸の結晶表面に水平な成分の方向と、前記直線偏光光の照射方向の結晶表面に水平な成分の方向のなす角を相対的に変えるステージ1と、前記直線偏光光の出力と前記ステージの回転角を制御し、前記受光器の出力を測定しその回転角依存性から方位を同定するためのコンピュータ8からなる。
請求項（抜粋）：
結晶表面に直線偏光された光を照射し、前記結晶からの反射光の強度を測定し、前記結晶を前記結晶表面に垂直な軸の回りに回転させ、この測定および回転を繰り返し行い、前記反射光の強度の回転角度依存性から前記結晶の面方位を求める結晶の面方位の測定方法であって、前記結晶の格子を励起して前記反射光の強度を測定することを特徴とする結晶の面方位測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/21 Z
, H01L 21/66 N
