特許
J-GLOBAL ID：200903020904544279
多ピン高周波プローブ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-005352
公開番号（公開出願番号）：特開平10-197560
出願日： 1997年01月16日
公開日（公表日）： 1998年07月31日
要約：
【要約】【課題】 高周波デバイスの品質保証を行うための電気検査において、クロストークが少なくかつ高周波伝達特性が良好な接触を行う。【解決手段】 被検査物である高周波デバイスのパッドに接触するニードル2aと、そのニードル2aから高周波信号をコネクタ4により取り出し、外部の計測器に伝送するための高周波伝送路部分の構成であって、マイクロストリップライン5を設けたプリント基板1と、前記マイクロストリップライン5の末端に取り付けるヘの字型のニードル2aと、このニードル2a取り付け部分を接触面から凹ませた突起形状を有する金属ブロック3と、接触面と反対側であって前記金属ブロック3に取り付けるコネクタ4と、そのコネクタ4のグランド部分を前記金属ブロック3に固定するグランド接続部7と、そのコネクタの信号ライン部分にある前記金属ブロック3をくり抜き空気を誘電体とした同軸部6とを有する。
請求項（抜粋）：
マイクロストリップラインを設けたプリント基板と、前記マイクロストリップラインの一端に設けられ屈折部を有する複数のニードルと、前記プリント基板を固設するものであって該ニードルが前記プリント基板に取り付けられた部分に対して突出しかつ被検査物と接触する接触面を有する金属ブロックとを備えることを特徴とする多ピン高周波プローブ。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
G01R 1/073 E
, G01R 31/26 J
, H01L 21/66 B
