ターボ分子ポンプ及び真空装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川井隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-349382
公開番号（公開出願番号）：特開2000-161285
出願日： 1998年11月24日
公開日（公表日）： 2000年06月13日
要約：

【要約】【課題】より高い圧力まで最大排気速度を維持することが可能なターボ分子ポンプを提供する。【解決手段】各段のロータ翼62、ステータ翼72のブレード63、75の形状として、吸入量を重視した仰角から逆流防止性能を重視した仰角へ至る性能を1段のブレード内で発揮する形状とする。具体的には、排気口に面した側のブレード面C、Dにおける、吸気口側の仰角α1を20度〜50度の範囲とし、この吸気口側の仰角α1=Nとした場合の排気口側の仰角α2を10度〜(L-5)度の範囲とする。このように、ブレード1段内で吸入量増大作用と逆流防止作用を実現できる構造としたので、より高い圧力までターボ分子ポンプの最大排気速度を維持出来るようになる。

請求項（抜粋）：

ロータ軸と、このロータ軸を回転自在に支持する軸受と、この軸受に支持された前記ロータ軸を回転させるモータと、前記ロータ軸に配設されるロータ本体と、このロータ本体に配設され、放射状に複数のブレードが設けられた複数段のロータ翼と、この複数段のロータ翼の間に配置され、放射状に複数のブレードが設けられた複数段のステータ翼とを備えたターボ分子ポンプにおいて、前記ロータ翼及び前記ステータ翼の少なくとも一方の、少なくとも一部の段のブレードの軸方向断面形状は、ブレードの進行方向に対して表になる側が角度の異なる複数の面から構成され、前記ブレードの進行方向に対する前記面の角度が排気口側よりも吸気口側の方が大きく形成されていることを特徴とするターボ分子ポンプ。

IPC (2件)：

F04D 19/04 , F04D 29/38

FI (2件)：

F04D 19/04 D , F04D 29/38 C

Fターム (19件)：

3H031DA02 , 3H031DA07 , 3H031EA00 , 3H031EA12 , 3H031EA15 , 3H031FA02 , 3H031FA13 , 3H031FA37 , 3H033AA02 , 3H033AA12 , 3H033BB01 , 3H033BB08 , 3H033BB19 , 3H033CC01 , 3H033DD04 , 3H033DD21 , 3H033DD29 , 3H033EE00 , 3H033EE19

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-025993
特開昭57-191492

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