特許

J-GLOBAL ID：200903020913532887

反射型飛行時間質量分析装置および分析方法

発明者： 志知 広康
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 作田 康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-130949
公開番号（公開出願番号）：特開2000-323088
出願日： 1999年05月12日
公開日（公表日）： 2000年11月24日
要約：

【要約】【課題】試料を構成する分子種の同定や試料に含まれる微量な原子を超高感度で分析可能な反射型飛行時間質量分析装置と分析方法およびこれらを応用した分析装置と分析方法を提供する。【解決手段】イオンを飛行時間の長さの違いによって分離した後に、上記イオンの持つエネルギの違いによってイオンを選別する手段を設け、上記選別後のイオン量を計測する。

請求項（抜粋）：

イオン発生装置、イオンを加速する手段、イオンの軌道を飛行途中で折り返すイオン反射手段、イオンの飛行時間を計測する手段、および質量数毎のイオン量を計測する手段からなる反射型飛行時間質量分析装置において、上記イオンを飛行時間の長さの違いによって分離した後に、上記イオンの持つエネルギの違いによってイオンを選別する手段を設け、上記選別後のイオン量を計測することを特徴とする反射型飛行時間質量分析装置。

IPC (5件)：

H01J 49/40 ,  G01N 23/225 ,  G01N 27/62 ,  H01J 49/48 ,  H01L 21/66

FI (5件)：

H01J 49/40 ,  G01N 23/225 ,  G01N 27/62 K ,  H01J 49/48 ,  H01L 21/66 N

Fターム (31件)：

2G001AA03 ,  2G001AA05 ,  2G001AA10 ,  2G001AA13 ,  2G001BA06 ,  2G001CA05 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001EA04 ,  2G001EA20 ,  2G001FA01 ,  2G001KA01 ,  2G001KA20 ,  2G001LA11 ,  2G001MA01 ,  2G001MA04 ,  2G001MA05 ,  2G001NA15 ,  2G001NA19 ,  2G001RA04 ,  2G001SA01 ,  4M106AA02 ,  4M106AA10 ,  4M106BA03 ,  4M106CA51 ,  4M106CB02 ,  4M106DH01 ,  5C038FF07 ,  5C038FF10 ,  5C038GG07 ,  5C038KK06